Kvalitativní srovnání MEMS snímačů vibrací

Abstract

Cílem této bakalářské práce je kvalitativní ověření parametrů MEMS snímačů vibrací s použitím kalibračních zařízení od firem SPECTRA a Brüel & Kjr. První část této práce se zabývá různými typy MEMS snímačů vibrací na piezorezistivním, kapacitním a tepelném principu činnosti. Dále je v práci pojednáno o primárních a sekundárních metodách kalibrace snímačů vibrací a o zařízeních používaných pro tyto metody kalibrace. Druhou částí bakalářské práce je použití kalibračních řetězců a sekundární metody kalibrace pro ověření citlivostí a teplotních závislostí tří konkrétních MEMS akcelerometrů od firem STMicroelectronics, MEMSIC a Panasonic. Naměřené charakteristiky jsou porovnány s katalogovými listy výrobců. Na konec jsou zde také uvedeny možnosti potlačení těchto teplotních vlivů.The aim of this bachelor thesis is a qualitative parameter validation of MEMS vibration sensors using calibration devices from the companies SPECTRA a Brüel & Kjr. First part of study deals with different types of MEMS vibration sensors on the piezoresistive, capacitive and thermal principle of operation. The study also deals with primary and secondary methods of calibration of vibration sensors and devices used for these calibration methods. The second part of the thesis is to use the calibration chains and secondary calibration methods to verify the sensitivity and temperature dependences of three particular MEMS accelerometers from the companies STMicroelectronic, MEMSIC and Panasonic. The measured characteristics are compared with catalog datasheets. In the end of the thesis are also discussed the possibility of the suppression these temperature effects.