Návrh a realizace VN výkonového generátoru f=13.56 MHz

Abstract

Táto práca sa zaoberá návrhom, realizáciou a následným popisom oživenia vysoko napäťového výkonového generátoru pracujúceho na frekvencii f = 13.56 MHz. Súčasťou práce je tiež návrh meracej sondy, ktorej úlohou je vyhodnocovať zložky elektro-magnetického poľa do frekvencie f = 500 MHz. V práci sú taktiež spomenuté súčasné riešenia v oblasti výroby plazmy a vyhodnocovania jej parametrov.This thesis deals with the design and practical realization of a high-voltage power generator, which works at a frequency of f = 13.56 MHz. Thesis also deals with the design of a probe dedicated to measuring the electro-magnetic spectrum of the plasma. The probe should be able to work in the frequency range of f = 0 - 500 MHz. State of the art in the field of plasma generation and plasma diagnostics are discussed.