Studium kovových materiálů pomocí nízkonapěťové elektronové mikroskopie

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá demonstrací výhod metody mikroskopie pomalými elektrony v oblasti materiálových věd. Rastrovací nízkoenergiov elektronová mikroskopie je mimořádně užitečná pro studium celé řady materiálů, jako jsou oceli, slitiny, keramika a tenké vrstvy. Experimentální část bakalářské práce byla provedena na rastrovacím elektronovém mikroskopu TESCAN VEGA TS 5130 vybaveném režimem katodové čočky, který se nachází na Ústavu přístrojové techniky AVČR, v.v.i..The aim of this thesis is to demonstrate the advantages of the scanning low energy electron microscopy (SLEEM) in the field of materials science. The SLEEM can be very effectively used for investigation of wide range of materials, such as steels, alloys, ceramics and thin films. Experimental part of this work was performed on the scanning electron microscope TESCAN VEGA TS 5310 equipped with cathode lens mode at Institute of Scientific Instruments of the ASCR, v.v.i..