Analýza grafenových vrstev připravených metodou CVD pomocí rozptylu nízkoenergiových iontů

Abstract

Tato bakalářská práce je zaměřena na analýzu vzorků grafenu rozptylem nízkoenergiových iontů (LEIS). Výroba grafenových vrstev byla prováděna metodou chemické depozice z plynné fáze (CVD) na Ústavu fyzikálního inženýrství. Analýza vzorků probíhala ve Středoevropském technologickém institutu (CEITEC) na přístroji Qtac 100. Cílem této bakalářské práce byla optimalizace technologie výroby za účelem snížení kontaminací obsažených v grafenové vrstvě.This bachelor thesis is focused on the analysis of graphene samples by the Low Energy Ion Scattering (LEIS). The production of graphene layers is realized by the Chemical Vapor Deposition method (CVD) on the Institute of Physical Engineering. Analysis of the samples is taken place in the Central European Institute of Technology (CEITEC) by Qtac 100. The aim of this bachelor thesis is to optimize of technology in order to reduce contaminants in the graphene layer.