Polovodičové senzory plynů pro detekci organických plynů a par
Loading...
Date
Authors
Šedivý, Matúš
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
V tejto bakalárskej práci sú rozobrané základné vlastnosti senzorov. Ďalej obsahuje prehľad v súčasnosti najčastejšie používaných typov senzorov plynov, ktoré sú rozdelené podľa ich fyzikálneho princípu. Jadrom práce je experimentálna časť, v ktorej je popísaný postup výroby senzorov s aktívnymi vrstvami oxidu zinočnatého, oxidu ciničitého, oxidu volfrámového, a oxidu titaničitého. Ich citlivostné charakteristiky boli zmerané pre metán, izobután a amoniak. Taktiež boli zmerané charakteristiky komerčného senzoru TGS 822 od firmy Figaro. Boli porovnané vlastnosti senzoru TGS 822 s vyrobenými senzormi. V závere sú zhrnuté možnosti realizácie polovodičového senzoru s rôznymi aktívnymi vrstvami, určeného k selektívnej detekcií organických plynov.
This bachelor thesis is focused on gas sensors. Basic characteristics of sensors are discussed in the first part. Next part contains an overview of the most used types of gas sensors based on different physical principles. The main aim of thesis outlines last chapter where process of making gas sensors with different semiconductive metal oxides active layers is described. This thesis also describes measuring of their characteristics and characteristics of commercial gas sensor TGS 822 made by Figaro. Measured data are processed in graphs and tables and then were used for comparison with created sensors. In conclusion, there are discussed possibilities of improving selectivity of gas detection by using sensors with different active layer.
This bachelor thesis is focused on gas sensors. Basic characteristics of sensors are discussed in the first part. Next part contains an overview of the most used types of gas sensors based on different physical principles. The main aim of thesis outlines last chapter where process of making gas sensors with different semiconductive metal oxides active layers is described. This thesis also describes measuring of their characteristics and characteristics of commercial gas sensor TGS 822 made by Figaro. Measured data are processed in graphs and tables and then were used for comparison with created sensors. In conclusion, there are discussed possibilities of improving selectivity of gas detection by using sensors with different active layer.
Description
Keywords
polovodičový senzor , detektor plynu , oxid ciničitý , oxid zinočnatý , oxid volfrámový , oxid titaničitý , chemisorpcia , izobutan , metán , amoniak , hrubá vrstva , charakteristika , semiconductor sensor , gas detector , tin dioxide , zinc oxide , tungsten trioxide , titanium dioxide , chemisorption , isobutane , methane , ammonia , thick film , characterization
Citation
ŠEDIVÝ, M. Polovodičové senzory plynů pro detekci organických plynů a par [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2015.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
sk
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda)
doc. Ing. Lukáš Fujcik, Ph.D. (místopředseda)
doc. Ing. Jan Maschke, CSc. (člen)
doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Špinka (člen)
Date of acceptance
2015-06-16
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cílem a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Dále student zodpověděl doplňující otázky:
1) Jak rychlá je odezva senzoru?
2) Jak dlouho senzor regeneruje?
3) Je možné určit koncentraci plynu přesně?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena