ŠEDA, M. Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2008.
Předkládaná diplomová práce se zabývá problematikou povrchové úpravy elektrod kapacitního tlakového senzoru za pomoci deponovaného pole uhlíkových nanotrubic. Tato úprava měla vést ke zvětšení povrchu elektrod při zachovaní vnějších rozměrů. Diplomant se měl podle zadání seznámit s teorií uhlíkových nanotrubic, jejich výrobou a využitím. Dále pak měl prozkoumat technologie polovodičové výroby, jakými jsou leptání, napařování, litografie. Stěžejní částí práce bylo vyrobit funkční vzorek kapacitního čidla s povrchově upravenými elektrodami a změřit jeho výslednou kapacitu. Úkol vyžadoval zpracování velkého množství literatury a internetových zdrojů z široké oblasti nanotechnologií, MEMS teorie a polovodičové výroby s jejich následnou logickou návazností. Student splnil zadání v plném rozsahu. Jednotlivé části práce jsou uspořádány v logickém sledu a podávají tak ucelený a souvislý pohled na řešenou problematiku. V úvodní části práce je přehledně popsána teorie a vlastnosti uhlíkových nanotrubic včetně různých druhů depozičních technik. V další části se student zabývá konkrétní technikou PECVD používanou na Přírodovědecké fakultě Masarykovy university v Brně, se kterou velmi úzce spolupracoval. Student detailně popisuje použité metody analýzy vzorků pomocí elektronové mikroskopie, litografické procesy a leptací procesy využité při vývoji senzoru. V experimentální části práce diplomant podrobně popisuje jednotlivé pokusy včetně jejich grafických výstupů. Dále pak vývoj samotného senzoru a přípravků vyrobených pro měření kapacitních vlastností elektrod modifikovaných polem uhlíkových nanotrubic. Student Miroslav Šeda přistupoval po celou dobu k práci na projektu velmi zodpovědně, účastnil se schůzek v předem dohodnutých termínech spojených s prezentací dosažených výsledků. Věnoval se řádně studiu vybrané doporučené literatury, kterou vhodně doplnil zdroji z internetu. Vzhledem ke svému nasazení, již během ročníkových projektů, měl student veškeré experimenty provedeny včas, což se pozitivně promítlo v publikování získaných výsledků na několika mezinárodních zahraničních konferencích, přičemž výsledky byly oceněny na mezinárodní konferenci ICONS 2008 cenou BEST PAPER AWARD. Diplomová práce svými výsledky a zpracováním velmi výrazně přispívá k řešení zásadních problémů v oblasti kapacitních senzorů zkoumaných na Ústavu mikroelektroniky a považuji ji za kvalitní a přínosnou. S ohledem na výše zmíněné skutečnosti navrhuji hodnocení VÝBORNĚ/95 bodů (A)
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění zadání | A | 50/50 | Student splnil zadání v plném rozsahu. |
| Aktivita během řešení a zpracování práce (práce s literaturou, využívání konzultací, atd.) | A | 19/20 | Student Miroslav Šeda přistupoval po celou dobu k práci na projektu zodpovědně, účastnil se schůzek v předem dohodnutých termínech spojených s prezentací dosažených výsledků. |
| Formální zpracování práce | B | 17/20 | Jednotlivé části práce jsou uspořádány v logickém sledu a podávají tak ucelený a souvislý pohled na řešenou problematiku. |
| Využití literatury | A | 9/10 | Student se věnoval řádně studiu vybrané doporučené literatury, kterou vhodně doplnil zdroji z internetu. |
Velmi dobrá práce s velmi širokým záběrem. Zadání bylo pojato široce a má výzkumnou a vývojovou část a vyžaduje značný objem pomocných prací. Název uvádí systém MEMS, návrh elektronické části však nebyl součástí řešení. Diplomant prokázal své inženýrské schopnosti. Práci doporučuji k obhajobě a po jejím úspěšném zakončení udělení titulu inženýr.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků zadání | B | 17/20 | Požadavky zadání byly vcelku splněny. Plné splnění zadání nebylo v silách diplomanta, protože potřebné technologické procesy nebyly na UMEL odladěny. |
| Odborná úroveň práce | A | 50/50 | Jedná se o práci s mimořádnou odbornou úrovní, která vyžaduje zapojení více pracovšť UMEL i kooperaci s MU a také UPT AV ČR. |
| Interpretace výsledků a jejich diskuse | C | 15/20 | V práci je popsáno mnoho druhů experimentů s menším množstvím opakování nebo změněnými podmínkami, interpretace jejich výsledků je proto obtížná a nejednoznačná. |
| Formální zpracování práce | B | 8/10 | Podrobně jsou popsány použité technologické operace a jejich principy, méně již vlastní práce na senzoru a inženýrský přístup diplomanta. |
eVSKP id 10833