JANÁK, M. Kalibrace metody SIMS pomocí implantačních profilů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2019.
Bakalářská práce se zabývá kalibrací přístroje SIMS5 pro měření GaN, AlN a AlGaN vrstev. Tyto vrstvy vyrábí firma On Semiconductor a na pracovišti CEITEC bylo analyzováno dopování těchto vrstev a kontaminace. Aby bylo možné provést kvantitativní hloubkové profilování, byly vyrobeny kalibrační vzorky se známou koncentrací implantovaných prvků. Úkolem studenta bylo analyzovat tyto kalibrační vzorky a provést pomocí nich kalibraci přístroje. Student zvládl požadovaná měření samostatně a kromě aplikace standardních kalibračních postupů navrhl metodu kalibrace dopantů pro AlGaN vrstvy s různou koncentrací matricových prvků. K tomu bylo nutné naučit se nad rámec zadání měřit i koncentrace matricových prvků. Kalibrační postupy byly ověřeny srovnávacím měřením na vzorcích, které byly měřeny i firmou EAG, kde analýza jednoho vzorku stojí až 5 tis. dolarů. Tato srovnávací měření potvrdila správnost aplikovaných kalibračních postupů. Jeho práce je přínosná a bude dále používána na pracovišti CEITEC. Student k dané problematice přistupoval zodpovědně, pečlivě a věnoval jí velké množství času. Hodnotím ji stupněm A.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | A |
Předložená bakalářská práce popisuje systematický postup pro kalibraci výsledků hmotnostní spektroskopie SIMS prováděné na komerčním zařízení TOF-SIMS5 od firmy ION-TOF. Efekt preferenčního odprašování a matrix effect jsou kvantifikovány na skupině kalibračních vzorků připravených iontovou implantací. Následně jsou získané charakteristiky používány k hloubkovému profilování průmyslových vzorků AlGaN HEMT. Teoretická část práce seznamuje čtenáře pečlivě a v přiměřené míře s teoretickými základy metody SIMS, interakce iontového svazku se vzorkem a vlastnostmi studovaných materiálů. Kalibrační křivky dopantů byly stanoveny na základě porovnání hloubkových profilů získaných z měření s výstupy počítačových simulací (TRIM) a představují výrazný výstup autorovy práce. Jasným důkazem splnění požadovaných cílů je porovnání dosažených výsledků s výstupy zavedené laboratoře firmy Evans Analytical Group (EAG). V některých případech nedošlo ke shodě mezi experimentálními výsledky, simulacemi a výstupy komerční analýzy z laboratoře EAG. Autor však naznačuje možné příčiny, nebo alespoň navrhuje postup pro další optimalizaci. Mezi výstupy práce patří také vlastní program pro zpracování a vyhodnocování získaných dat. Bakalářská práce je podle mého názoru na vysoké úrovni a to ve všech hodnocených parametrech. Doporučuji bakalářskou práci pana Marcela Janáka k obhajobě a hodnotím ji stupněm A (výborně).
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 117577