POKORNÝ, D. Leptání SiO2 pomocí depozice Si [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2017.
Student při plnění zadání bakalářské práce využíval UHV aparaturu a AFM mikroskop v laboratoři povrchů a tenkých vrstev Ústavu fyzikálního inženýrství. Po zaškolení pracoval na těchto zařízení samostatně, tedy deponoval velmi tenké křemíkové vrstvy pomocí efúzní cely a následně analyzoval na XPS a AFM. V bakalářské práci popsal problematiku rozkladu SiO2, princip použitých metod a v experimentální části ověřil, že lze leptat SiO2 dodáním Si atomů na povrch vzorku. Ze získaných výsledků rovněž stanovil teplotní závislost rychlosti této reakce. Student splnil všechny body zadání a doporučuji tuto práci k veřejné obhajobě.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | B | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | B |
Cílem práce bylo ověřit možnost leptání oxidu křemíku pomocí depozice křemíku. Dále měla být stanovena teplotní závislost rychlosti této reakce. V teoretické části práce podrobně popisuje aspekty chemické reakce rozkladu oxidu křemičitého na oxid křemnatý v podmínkách ultravakua. Je podrobně popsán i princip depozice křemíku pomocí efuzní cely a použité analytické metody (XPS, AFM). Experimentální část nejprve diskutuje Arrheniovu rovnici ve vztahu k této reakci. Také je zde uveden postup určení tloušťky vrstvy pomocí metody XPS. Následuje popis depozice křemíku při pokojové a zvýšených teplotách. Na základě experimentu při zvýšených teplotách byla stanovena aktivační energie této reakce. Vzhledem k rozsahu práce a zajímavé diskuzi změřených dat, která je přehledně prezentována, považuji tuto práci za zdařilou, doporučuji ji k obhajobě a navrhuji hodnocení stupněm A.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | B | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 101532