TIHLAŘÍK, J. Vývoj atomárních a iontových svazkových zdrojů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2010.

Posudek vedoucího

Mach, Jindřich

Student se v rámci bakalářské práce aktivně podílel na sestavení experimentálního zařízení určeného k charakterizaci základních vlastností iontově-atomárního zdroje. Na sestaveném zařízení také realizoval základní měření parametrů zdroje (profil svazku, energie svazku). Měření bylo doprovázeno simulacemi v programu EOD, kde student doplnil stávající model iontově-atomárního zdroje o iontovou optiku. Součástí bakalářské práce bylo také provedení dvou depozic GaN na substrát Si(111)dH v UHV aparatuře, pro různá nastavení napětí na elektrodách iontové optiky. Během bakalářské práce nebylo zvýšeno výsledné procento vazeb Ga-N, což lze přičíst malému počtu časově náročných depozici. I přesto student splnil všechny úkoly zadání, projevoval zájem o danou problematiku a to převážně o část zabývající se iontovou optikou. Při práci si počínal snaživě místy až přehnaně precizně.

Posudek oponenta

Voborný, Stanislav

Hlavním cílem bakalářské práce byla experimentální optimalizační práce na iontově-atomárním zdroji, zkonstruovaném na ÚFI. Testovaný iontově-atomární zdroj byl nedávno zdokonalen instalací jednoduché fokusační elektrody a kolimátoru, což umožnilo ovlivňovat proudový profil svazku v depoziční komoře. V práci byly hledány nové parametry provozu iontového zdroje pro budoucí depozice gallium-nitridových vrstev. Všechny výsledky měření jsou v práci přehledně zpracovány a popsány. Po stránce pravopisné je však práce zatížena množstvím gramatických chyb a překlepů. Autor zřejmě nepoužil korektor pravopisu. Text je na některých místech poněkud obsahově nevyvážený, některé pasáže jsou velmi stručné (kap. 1), kap. 3 je naopak rozsáhlejší a obsahuje popis metod detekce svazků, z nichž některé jsou poměrně neobvyklé a v laboratorní praxi nevyužívané). Na str. 22 ve 2. kapitole autor popisuje způsoby vzniku záporných iontů. O kladných iontech, které při experimentech používá, se však pouze krátce zmínil. Některé další chyby: - str. 16: „galliumnitrid“ – doslovný překlad do češtiny. Nevhodný český název pro nitrid gallia (nitrid gallitý), - nepřesný překlad popisů obrázků z anglických knih (např. na obrázku 3: „ocelová tyč“), - obr. 4:štěrbina o průměru r (místo d), - str. 20, 4. ř. zdola: „nazývame“, - str. 21, 5ř. zdola: „Vhodně polohovaná anoda vytváří proud urychlených elektronů, …“ - nepochopitelné pro člověka detailně neobeznámeného s principy iontových zdrojů, - str. 22, prostřední vztah: „na = p/kT“, na by měla být vztažená na jednotku objemu – koncentrace, - str. 22: není uveden odkaz na první vztah, - str. 23, 7. ř. zdola: neúplná věta, - str. 26: r = 1,6 mm (má být 1 mm), - str. 26, 12. ř. shora: místo jednotek voltů má být spíše desítek voltů, - str. 27, 6. ř. zdola: „luminoscenční“, - str. 27, vztah (2): nejsou popsány veličiny ve vztahu, co je myšleno výrazem eV? - str. 27: proč je uveden přepočet z eV na cal? - str. 29, obr. 13: je zde uvedena vzdálenost iontového zdroje od Faradayovy sondy 120 mm. Na obrázku však není naznačen kolimátor. Na str. 31, obr. 16 jsou výsledky počítačové simulace drah iontů. Jaká je vzdálenost konce kolimátoru od Faradayovy sondy? (nekorespondují obrázky 13 a 16), - obr. 14 a obr. 16: experimentálně změřené a simulované proudové profily si v některých případech neodpovídají. Autor tento nesoulad v práci nediskutuje. - str. 36, 2. řádek zdola: „natažaném“, - str. 36, popis obr. 22: „prou“. Bakalářská práce je přehledná, je doprovázena hezkými obrázky, schématy a grafy na profesionální úrovni. Výsledky práce jsou pro laboratoř povrchů a tenkých vrstev přínosem, protože pomohou lépe využít iontově atomární zdroj používaný pro depozice tenkých vrstev a budou východiskem pro jeho další zdokonalování. Přes výše uvedené nedostatky a nepřesnosti práci hodnotím jako zdařilou, doporučuji k obhajobě a hodnotím ji stupněm B.

eVSKP id 30122