KLEMPA, J. Piezoelektrické rezonátory MEMS pro senzorické aplikace [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2017.
Předmětem bakalářské práce studenta Jaroslava Klempy byla oblast piezoelektrických MEMS rezonátorů. V teoretické části student přehledně zpracoval běžně používané materiály a technologické metody pro výrobu MEMS struktur a princip funkčnosti piezoelektrických MEMS rezonátorů. Teoretickou část student vypracoval zcela samostatně s použitím jím vybrané i vedoucím doporučené literatury. Praktická část obsahuje všechny nutné kroky pro správné zhotovení a ověření funkčnosti struktur - od návrhu, přes simulace až po samotnou výrobu a následnou charakterizaci. Hlavní část práce byla zaměřena na výrobu a následné ověření parametrů obdržených ze simulací pomocí zvolených metod. Tuto část student výborně zvládl. Student vytvořil struktury v souladu s požadavky CMOS technologie, jejichž vlastnosti odpovídají modelům obdrženým pomocí simulací, které bude možné nadále využívat na pracovišti FEKT a STI pro senzorické aplikace. Student Jaroslav Klempa přistupoval po celou dobu ke své bakalářské práci velmi zodpovědně a vždy se zúčastnil všech domluvených konzultací. Při řešení vzniklých problémů, zejména při realizaci praktické části, byl aktivní a měl podnětné návrhy, jak danou situaci řešit. Student si za dobu řešení bakalářské práce osvojil návrhový a simulační software a všechny technologické kroky pro výrobu piezoelektrických MEMS rezonátorů, což je za dobu jednoho akademického roku znamenité. Závěrečné zpracování výsledků proběhlo s dostatečným předstihem a kvalitou vypovídající o faktu, že se student v dané problematice výborně zorientoval a pochopil ji. Jeho výbornou činnost podtrhuje i třetí místo v soutěži „Student EEICT“. Formální zpracování bakalářské práce je na velmi vysoké úrovni. Vzhledem k uvedeným skutečnostem práci doporučuji k obhajobě a hodnotím výslednou známkou A - 100 bodů.
Předložená práce se zabývá aktuálním tématem, a sice návrhem piezoelektrických rezonátorů pro sensorické aplikace v MEMS technologii, jejíž výsledky mohou najít uplatnění v některých velice zajímavých aplikacích. V teoretickém úvodu se student věnuje úvodu do MEMS technologií a popisuje běžně používané materiály a výrobních techniky pro realizaci MEMS struktur a senzorů. Teoretická část je logicky řazená, použitá literatura je odpovídající a vhodně zvolená. Z mého podledu je však v teoretickém úvodu použit až příliš detailní popis výrobních technik používaných v MEMS na úkor stručně popsané problematiky samotných rezonátorů. V praktické části je popsán postup simulací piezorezonátorů včetně výsledků simulací modální a harmonické analýzy. V další časti student podrobně popisuje výrobu samotnýcyh rezonátorů. Chválím pak samotný popis technologického postupu výroby, který je proveden na velmi vysoké úrovni. V závěru práce jsou vytvořené piezorezonátory charakterizovány, výsledky měření jsou kriticky porovnávány s výstupy dříve provedených simulací. Dle mého názoru výsledky práce dostatečnou měrou přispívají k dalšímu vývoji a výzkumu MEMS senzorických aplikací založených na rezonátorech. Student zvládl provést harmonické modální/simulace, návrh struktur a jednotlivé kroky výroby piezorezonátorů, včetně následné charakterizace. Z těchto důvodů, zejména pro značný přínos do aktuálního tématu, doporučuji práci k obhajobě a hodnotím stupněm A s plným bodovým ziskem 100 bodů.
eVSKP id 102981