BARTOŠ, R. Tvorba nanostruktur pomocí fokusovaného iontového svazku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2011.

Posudek vedoucího

Kolíbal, Miroslav

Radko Bartoš se snažil ke své práci přistupovat svědomitě v rámci možností, které mu omezený přístup k zařízení FIB dovolil. Dle zadání nastudoval a v práci popsal děje, ke kterým dochází při interakci iontového svazku se vzorkem. Vytvořené struktury na křemíkovém substrátu změřil pomocí AFM a poměrně velké množství dat vyhodnotil. V souladu se zadáním se také naučil pracovat se simulačním programem SRIM. Práce s literaturou mu obecně činila potíže (samostané vyhledávání relevantních zdrojů, rozsáhlejší rešerše atd.), jako pouze uspokojivé hodnotím také schopnosti interpretovat naměřená data. Přes tyto výhrady konstatuji, že výsledná bakalářská práce dle mého názoru důstojně prezentuje dosažené výsledky a navrhuji celkové hodnocení C.

Posudek oponenta

Tomanec, Ondřej

V bakalářské práci se autor zabývá vlivem několika parametrů odprašování fokusovaným iontovým svazkem na výslednou kvalitu požadovaných struktur. Zadání práce je splněno, ale ne zcela, protože vyjma nastudování doporučené literatury postrádám rešerši a využití již publikovaných závěrů. Přínos a originalitu práce lze hodnotit jako dobrou, musíme však odhlédnout od zanedbání rešerše. Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závery je dobrá, místy však schází uvážení opomenutých parametrů. Na jednom místě (str. 22, odst. 2) považuji formulaci závěru za nepodloženou úvahou nebo porovnáním. Na jiném místě (str. 24, odst. 1) považuji závěr neodpovídající uvedeným profilům (zejména směr ven). Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii považuji za výbornou, stejně jako logické usporádání práce a formální náležitosti. Grafická a gramatická úroveň je dobrá, malé množství chyb jsou většinou překlepy, např. v obr. 6 na str. 17 má vertikální osa jednotku um(mikrometr) namísto nm. Horší je užívání nesprávných výrazů, jako např.: kvadrát namísto kvadrant, počáteční podmínky místo parametry, u AFM profil místo topografie, zejména však VUT Brno místo VUT v Brně a užití obchodní značky DualBeam pro označení konfigurace protínajícího se elektronového a iontového svazku. Stylistickou úroveň nepovažuji za dobrou, protože autor zejména v kapitolách 2 a 3 neklade patřičnou péči na výklad pro čtenáře, pro kterého je problematika nová. Doporučuji toto zlepšit v dalších pracech, aby se neorientoval pouze čtenář se zkušenostmi v dané problematice. Jako příklady lze uvést (str. 10, odst. 1) „(Cívky) také umožňují pohyb svazku po vzorku, aniž by byl vzorek exponován.“, pak (str. 14, odst. 3) nastavení obrazu… není zřejmé zda ionty nebo elektrony? Nebo blíže nespecifikované termíny prac. plocha a mimo prac. plochu. Dále při popisu přístroje s el. a iont. svazkem by bylo vhodnější nepopisovat vzhledem ke stolku se vzorkem, se kterým lze pohybovat a naklánět, ale snad popisovat vzájemnou polohu obou svazků. Navíc popis postupu nastavení koincidence el. a iont. svazků a popis uspořádání struktur na vzorku nepovažuji za nutný a mohl být vynechán. Postup a adekvátnost metod považuji za vhodné, ale rozsah řešení mohl být rozšířen o dva související parametry obrábění, a to pološířka svazku a velikost překrytí. Zejména vliv překrytí by mohl změnit dosažené závěry.

eVSKP id 34069