ŠÁRKÖZI, R. Testování prototypu UHV rastrovacího elektronového mikroskopu a konstrukce jeho efuzní cely [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.

Posudek vedoucího

Bábor, Petr

Cílem této práce bylo navrhnout efuzní celu do ultravakuového elektronového mikroskopu vyvíjeného firmou Tescan, která by umožňovala depozici z horních přírub ultravakuové komory. Efuzní cela byla navrhnuta s originálním kalíškem a jeho funkčnost byla ověřena experimentálně. Součástí práce bylo také podílet se na oživení vakuového systému mikroskopu včetně elektronového tubusu a provést testovací měření. Student se aktivně podílel na sestavování UHV komory a zapojil se do prvních testovacích měření elektronového tubusu souvisejících s problematikou přenosu vibrací. Lze konstatovat, že se cíle práce podařilo realizovat. V grafické, stylistické úpravě a pravopisu autora lze shledat určité nedostatky, nicméně, tuto práci považuji za zdařilou, doporučuji ji k obhajobě a navrhuji hodnocení stupněm B.

Posudek oponenta

Mach, Jindřich

Bakalářská práce se zabývá testováním prototypu UHV rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM) a konstrukcí efuzní cely, která má být umístěna v UHV podmínkách současně s SEM. Práce bohužel postrádá teoretický popis problému a autor se hned po úvodním odstavci v kapitole dva zbývá popisem skládaného zařízení UHV-SEM, aniž by definoval a vysvětlil základní pojmy jako například (UHV, SEM, RGA, FIB, …). Autor často používá tvrzení, aniž by je vysvětlil, případně odkázal čtenáře na literaturu (např. str. 5. „Bayert-Alpert, extraktorová měrka,…“). V psaném textu nejsou odkazovány obrázky, což působí zmateným dojmem. V práci se velmi často vyskytují počeštěné slangové výrazy případně anglické názvy (např, str. 8. Hot cathode, Coldt cathode, sutter, …). Autor v této kapitole zajímavým způsobem studuje vibrace UHV-SEM přístroje. Čtenář by zajisté uvítal vysvětlení způsobu získání rušivé frekvence 831 Hz a souvislost s obrázkem 10. Třetí kapitola se zabývá analýzou nanostruktur v UVH-SEM zařízení. Nicméně zde bych doporučil tuto kapitolu, která obecně popisuje jednotlivé techniky přesunout do přední části bakalářské práce. Obrázky 11 a 12 mají anglické popisky a opět nejsou odkazovány v textu. U obrázku 13 není uvedena citace a ani materiál vzorku. Čtvrtá kapitola je věnována přípravě nanostruktur v zařízení UHV-SEM pomocí metody FIB a napařování. V kapitole se nachází velké množství formálních chyb zejména při odkazování obrázků (str. 23-32) a dále by si měl pisatel uvědomit, že i vzorce jsou součástí psaného textu (str. 33). Na str. 26 autor tvrdí, že je nutno uzemnit vzorek při depozici atomů z efuzní cely, aby nedocházelo k nabíjení parazitním iontovým proudem, což je diskutabilní. Na str. 27 autor uvádí u zkratky PBN (polyboronitrid) nicméně se jedná o pyrolytickýboronitrd. Velmi pozitivním dojmem působí myšlenka umístění kalíšku přímo na nosič vzorku, i když si myslím, že touto konstrukcí vyvstane mnoho problémů. Zejména s přesným dávkováním materiálu na vzorek, čištěním depozitu, atd … V práci chybí analýza negativních vlastností této konstrukce. Na obr. 25 v plošném grafu zobrazující profil deponovaného materiálu je dle barevné škály tloušťka deponované vrstvy 1,5 um, ale v profilech je jen 250 nm. Na str. 33 je tok částic vyčíslen na 2,1x1015 částic za sekundu ale v textu je uvedena hodnota 1,6x1015 částic za sekundu. V práci není uveden název programu, ve které byly vyhotoveny 3D modely efuzní cely. Velmi stručná je rešeršní studie tvorby a analýzy nanostruktur v prostředí SEM a UHV, což je jeden z cílu práce. I přes formální nesrovnalosti a chaos v prezentaci výsledků, hodnotím práci za velmi dobrou. Zejména originalitu přístupu k dané problematice. Student musel řešit množství zajímavých problémů spojených s realizací deponování v těsné blízkosti vzorku. Praktická část práce je optimálního rozsahu, bohužel teoretická část by si zasloužila větší pozornost. Z těchto důvodů doporučuji bakalářskou práci k obhajobě, a hodnotím písmenem C.

eVSKP id 84020