BINKOVÁ, P. Výroba a testování částí MEMS zařízení pro mikromanipulace [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2020.
Diplomová práce Bc. Petry Binkové spojuje dva výzkumné okruhy - mikromanipulace a mikroelektromechanické systémy (MEMS). Zatímco mikromanipulace usnadňuje studium samotných mikroobjektů, MEMS technologie sebou přinášejí zejména nová technologická řešení a dále i snížení výrobních nákladů. V práci je navrženo a realizováno unikátní řešení MEMS mikromanipulátoru kombinující miniaturní piezo článek jako externí aktuátor a celokřemíkové zařízení zhotovené mikrovýrobními technikami. Studentka v práci prezentuje v přehledné formě rešerši věnovanou MEMS zařízením, mikromanipulacím a výrobním technologiím. Obsáhleji popisuje prakticky zvládnuté techniky mikrovýroby (optická litografie, hloubkové reaktivní iontové leptání, optická reflektometrie, mechanická profilometrie). Pomocí celé řady optimalizací a zmíněných dílčích vývojových kroků dokumentuje problémy s výrobou, ale i komplexnost vývoje konkrétního MEMS zařízení. Podařilo se jí nejen úspěšně zhotovit jednu z navržených variant mikromanipulátoru, ale následně i celé zařízení sestavit a úspěšně otestovat pod optickým mikroskopem. Návrh sériové výroby hodnotím jako důležitý bod práce, který umožní zařízení dovést k praktické a posléze i ke komerční realizaci. Studentka projevila značnou samostatnost a kreativitu při řešení dílčích problémů, například při překonávání nedostatků výroby či v návrzích sestavení celého zařízení. Za vyzdvihnutí stojí také zaměření zařízení pro elektronovou mikroskopii, ve které lze očekávat velké portfolio moderních aplikací. Práce navíc buduje základy pro další MEMS aplikace na Ústavu fyzikálního inženýrství Fakulty strojního inženýrství VUT v Brně. Vzhledem k tomu, že práce splňuje zadané požadavky a cíle a neshledal jsem při jejím vypracovávání ani v samotném textu významnější nedostatky, doporučuji práci hodnotit celkovou známkou A – výborně.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | A |
Předmětem diplomové práce Bc. Petry Binkové byla oblast mikroelektromechanických (MEMS) zařízení pro mikromanipulace. Studentka se měla seznámit s možnostmi mikromanipulace, MEMS zařízeními a MEMS výrobní technologií. Na základě získaných poznatků měla vyrobit a otestovat mikromanipulační MEMS zařízení pro využití v elektronové mikroskopii. Studentka splnila zadání v plném rozsahu i přes to, že jí praktickou část práce značně komplikovala pandemie coronaviru. Studentka v práci dosáhla zajímavých výsledků, které s jistotou budou základem pro další optimalizaci mikrozařízení. Kvalita zpracování této diplomové práce odpovídá požadovanému standardu. V teoretické časti studentka zvládla práci s nadstandardním množstvím literatury (155 referencí) a vytvořila přehlednou rešerši z oblasti MEMS zařízení, MEMS technologií a mikromanipulace, kterou uspořádala v logickém sledu tak, že na celkem 39 stranách tvoří ucelený a souvislý pohled na řešení zadané problematiky. V praktické části práce se studentka na 21 stranách věnuje optimalizaci výrobních litografie a hloubkového leptání pro realizaci MEMS mikromanipulátoru navrženého jejími kolegy v rámci projektu TAČR. Pomocí optimalizovaných procesů pak samostatně realizovala několik vzorků, kde komentovala technologické problémy, které byly v dalších verzích zařízení postupně odstraněny. V závěru práce pak uvádí výsledky testování prototypu zařízení a navrhuje možné řešení pro sériovou výrobu. Formální zpracování diplomové práce je na dobré úrovni. Přesto se zde vyskytly drobné nedostatky, mezi které patří záměna přídavných jmen se slovesy. Za velmi nevhodné řešení považuji nahrazení spojení „piezoelektrický aktuátor“ zkratkou „piezo“, která při náhodném otevření práce působí hodně neodborně. Rovněž slovní spojení „návrh designu…“ nepůsobí úplně dobře. Po gramatické stránce je práce na dobré úrovni. Svými výsledky práce přispívá k řešení problematiky v oblasti mikroelektromechanických manipulátorů. Práci doporučuji k obhajobě a klasifikuji ji hodnocením A.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | B | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | A |
eVSKP id 125373