Příprava vzorků a jejich měření metodami EDS

Abstract

Tato bakalářská práce je zaměřena na výrobu a analýzu vzorků pomocí energiové disperzní spektroskopie s využitím rastrovací elektronové mikroskopie. V teoretické části jsou popsány hlavní rozdíly mezi enviromentálním rastrovacím mikroskopem a rastrovacím elektronovým mikroskopem. Jsou zde také popsány základní poznatky z oblasti energiové disperzní spektroskopie. Dále je zde vysvětlen vznik a detekce signálů vznikajících při interakci svazku primárních elektronů se vzorkem s důrazem na popis, vznik a rozdělení těchto signálů. V praktické částí je práce zaměřena na výrobu a analýzu experimentálních vzorků.This bachelor´s thesis is focused on preparation and analysis of samples by energy dispersive spectroscopy using scanning electron microscopy. In the theoretical the main differences between environmental scanning electron microscopy and scanning electron microscopy are described. There is also a description of basic knowledge regarding energy dispersive spectroscopy. The generation and detection of signals arising from the interaction of a beam of primary electrons with a sample is also explained, with emphasis on the description, generation and distribution of these signals. The experimental part is focused on sample preparation and analysis.