Návrh a simulace čipu mikrobolometru v MEMS technologii

Abstract

Tato diplomová práce zkoumá problematiku detektoru infračerveného záření nazývaného bolometr. Cílem je pokrok v detekci infračerveného záření použitím odlišné absorpční vrstvy modifikovanou karbonovými nanotrubicemi. V teoretické části jsou uvedeny základní fyzikální pojmy z problematiky teplotního managmentu a základních fyzikálních vztahů bolometru. Design bolometru je představen a popsán. Teplotně mechanické simulace předvídají chování bolometru při detekci infračerveného záření. PSpice model je vytvořen a kombinuje termální a elektrické vlastnosti čipu bolometru. Dále je uveden proces výroby bolometru, které je detailně popsán.This master thesis studies the infrared detector called bolometer. The task is to improve the infrared detection by using different type of absorption layer modified by the carbon nanotubes. In theoretical part there are basic terms of thermal engineering and basics definitions of bolometer physics. The bolometer design is presented and described. The thermal mechanical simulations are evaluating the operation behavior. PSpice model of bolometer is created combing the thermal and electrical properties of the bolometer chip. The fabrication process is then presented and detailed described.