Vliv pracovních podmínek na velikost signálu získaného pomocí LVSTD detektoru
Loading...
Date
Authors
Tylich, Ondřej
Advisor
Referee
Mark
D
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Bakalářská práce seznamuje s činností nízkovakuového elektronového rastrovacího mikroskopu a popisuje jeho jednotlivé součásti. Vysvětluje rozdíl mezi nízkovakuovým a vysokovakuovým rastrovacím elektronovým mikroskopem. Obsahuje informace o vzniku signálů a detekci sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Zjednodušeně popisuje výpočet poměru signál šum a metodu získávání hodnoty velikosti signálu. Práce se zaměřuje na zkoumání vlivu pracovních podmínek na velikost signálu získaného pomocí Low Vacuum Secondary Electron TESCAN Detectoru (LVSTD) a na měření poměru signál šum. Cílem práce je zjistit stabilitu a vliv pracovních podmínek na LVSTD.
This bachelor project includes information about function of low vacuum scanning electron microscope and describes it’s parts. It explains the difference between low vacuum and high vacuum scannig electron microscope. Contains informations about creation and detection of secondary electrons using scintillation detectors. It describes the calculation of signal to noise ratio and the method for obtaining the values of signal. Project is focused to determine the value of signal with a change in working conditions obtained by using Low Vacuum Secondary Electron Detector TESCAN (LVSTD). The aim is to determine the stability of the effect of working conditions on LVSTD.
This bachelor project includes information about function of low vacuum scanning electron microscope and describes it’s parts. It explains the difference between low vacuum and high vacuum scannig electron microscope. Contains informations about creation and detection of secondary electrons using scintillation detectors. It describes the calculation of signal to noise ratio and the method for obtaining the values of signal. Project is focused to determine the value of signal with a change in working conditions obtained by using Low Vacuum Secondary Electron Detector TESCAN (LVSTD). The aim is to determine the stability of the effect of working conditions on LVSTD.
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop , nízkovakuový rastrovací elektronový mikroskop , nízkovakuový Tescan detektor sekundárních elektronů , scintilační detektor , poměr signál - šum , sekundární elektrony , velikost signálu. , Scanning electron microscope , enviromental scanning electron microscope , Low Vacuum Secondary Electron TESCAN Detectoru , secondary electrons , scintillation detector , noise , signal , detector , environmental.
Citation
TYLICH, O. Vliv pracovních podmínek na velikost signálu získaného pomocí LVSTD detektoru [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Tomáš Maliňák (člen)
Ing. Karel Pospíšil (člen)
doc. Ing. Arnošt Bajer, CSc. (člen)
Ing. Pavel Prosr, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2014-06-17
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky v diskuzi:
Z jaké maximální hloubky pod povrchem vystupují sekundární a zpětně odražené elektrony?
Jaký program byl použit pro simulace drah elektronů? S jakou třídou algoritmů pracuje?
Proč je v grafech pro napětí 20 kV psolední zaznamenaná hodnota tlaku 800 Pa?
Jaká byla použita urychlovací napětí?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena