Řízení procesu reaktivního magnetronového naprašování

Abstract

Bakalářská práce stručně popisuje technologii reaktivního magnetronového naprašování a zabývá se návrhem a realizací programu k jeho ovládání. K tomuto účelu byl vytvořen ovládací program pro řízení jednotlivých komponent aparatury PLS160 v programovacím prostředí LabView. Na základě znalostí technologického procesu a postupu reaktivního magnetronového naprašování byl vytvořen automatický program. Tento automatický program je možné modifikovat pomocí receptů. Vedle programové skladby byly provedeny mechanické a elektrické změny aparatury. Celý automatizovaný proces byl testován.Bachelor's thesis concisely describes technology of reactive magnetron sputtering and deals with the design and realization of controlling program. For this purpose it was created the control program for steering of individual components of apparatus PLS 160 in programming enviroment Labview. On basis of the knowledge of technological process and procedures of reactive magnetron sputtering the automatic program was created. This program can be modified using recipes. Besides program structures mechanical and electrical changes of apparatus were made. The entire automated process was tested.