Zobrazení vícesvazkové emise elektronů jednou čočkou

Abstract

Tato práce je zaměřena na měření emise elektronů z více katod tvořených n-dopovaným křemíkem a zobrazování elektronových svazků fokusovaných čočkou typu einzel na kameru CMOS. Experimentální výsledky jsou porovnány s počítačovou simulací, aby bylo možné pochopit emisi elektronů z polovodičové katody a pozorované nedokonalosti zobrazení. Na závěr jsou navrženy úpravy experimentálního uspořádání, které by měly vést ke zlepšení extrakčního proudu a velikosti stop fokusovaných elektronových svazků a také k lepšímu pochopení procesů probíhajících v experimentu.This work is aimed at measuring the electron emission from multiple cathodes formed by n-doped silicon and imaging the electron beams focused by an einzel lens on a CMOS camera. The experimental results are compared with computer simulation to understand the electron emission from the semiconductor cathode and the observed imaging imperfections. Finally, modifications to the experimental setup are suggested that should lead to improvement in the extraction current and spot size of focused electron beams and also better understanding of the processes taking place in the experiment.