Mikrostruktury mimikující povrch tlapky gekona
Loading...
Date
Authors
Fecko, Peter
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Adhezní schopnosti gekona byly předmětem mnoha studií a inspirací pro vytvoření mnoha napodobenin. Tato práce navrhuje vlastní verzi umělých gekoních struktur ve tvaru mikroskopických pilířů, které by vykazovaly adhezní vlastnosti srovnatelné s tlapkou gekona. Vyrobeny byli struktury z polymeru Parylen C pomocí fotolitografie a technik na leptání křemíku. Dalším cílem bylo různými metodami pro modifikaci povrchu a charakterizaci vytvořených struktur, které určí adhezní síly těchto povrchů, před a po modifikacích.
Adhesive capabilities of a gecko lizard have been the subject of many studies and an inspiration for many artificial imitations and inventions. This work proposes a design version of synthetic gecko structures in a form of micro-pillars, that would have similar adhesion capabilities as gecko setae. Structures made of Parylene C polymer have been created using photolithography and silicon etching techniques. Following focus was on various methods of surface modifications and characterisation of these structures to determine the adhesion forces on their surface, before and after modifications.
Adhesive capabilities of a gecko lizard have been the subject of many studies and an inspiration for many artificial imitations and inventions. This work proposes a design version of synthetic gecko structures in a form of micro-pillars, that would have similar adhesion capabilities as gecko setae. Structures made of Parylene C polymer have been created using photolithography and silicon etching techniques. Following focus was on various methods of surface modifications and characterisation of these structures to determine the adhesion forces on their surface, before and after modifications.
Description
Keywords
adheze gekona, adhezní struktury, biomimetika, van der Waalsovy síly, leptání reaktivní plasmou, leptání v XeF2, Parylen C, depozice atomárních vrstev (ALD), adhezní promotéry, rastrovací elektronová mikroskopie (SEM), měření kontaktního uhlu, mikroskopie atomárních sil (AFM), gecko adhesion, adhesive setae, biomimetics, van der Waals force, reactive ion etching, XeF2 etching, Parylene C, atomic layer deposition (ALD), adhesion promotors, scanning electron microscopy (SEM), contact angle measurement, atomic force microscopy (AFM)
Citation
FECKO, P. Mikrostruktury mimikující povrch tlapky gekona [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2019.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
en
Study field
Mikroelektronika
Comittee
doc. Ing. František Urban, CSc. (předseda)
RNDr. Ladislav Mareček, CSc. (místopředseda)
doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (člen)
Ing. Michal Řezníček, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Alexandr Knápek, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2019-06-04
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Dále odpověděl na otázky dle komise. Student vysvětlil interakci elektronového svazku se substrátem a využití jednotlivých interakcí u rastrovacího elektronového mikroskopu. Student objasnil náročnost práce z hlediska leptání jednotlivých struktur.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení