Radiační poškození vzorků v nízkovoltové transmisní elektronové mikroskopii

Abstract

Práce je zaměřena na vliv radiačního poškození vzorků v nízkonapěťové transmisní elektronové mikroskopii. V práci se nachází obecný popis transmisních elektronových mikroskopů a jejich důležitých částí. Je zde popsán způsob poškození vzorků ozářených primárním svazkem elektronů, jak se připravují vzorky pro elektronovou mikroskopii a k jaké degradaci vzorků dochází z hlediska materiálu vzorku a časovému zatížení primárním elektronovým svazkem.This thesis is focused on Radiation damage of samples in low-voltage transmission electron microscopy. In thesis is general description of transmission electron microscopy and their important parts. There is described how samples are damaged by primary electron beam and how samples for transmission electron microscopy are prepared and which degradation occurs from the point of view materials of sample and time dose of electrons from primary electron beam.