Kontaktování jednorozměrných nanostruktur

Abstract

Tato bakalářská práce se věnuje metodologii kontaktování jednorozměrných nanostruktur. Teoretická část práce definuje pojem jednorozměrných nanostruktur, následně se věnuje potenciálu jejich využití, a to především v oblasti polem řízených tranzistorů. Věnuje se i možnosti měření elektrických vlastností jednorozměrných nanostruktur a možnosti vytváření kontaktů s dostatečně malými rozměry v podobě lithografického přístupu. Experimentální část nejprve přináší stručný přehled činností, které je třeba zvládnout při kontaktování jednorozměrných nanostruktur. Následně jsou jednotlivé úkony podrobněji popsány a na závěr jsou uvedeny výsledky měření elektrických vlastností jednorozměrných nanostruktur.This bachelor thesis deals with methodology of contacting one-dimensional nanostructures. Theoretical part of the thesis defines the concept of one-dimensional nanostructures, then it deals with the potential of their usage, especially in field effect transistors. This part also deals with the possibility of measuring the electrical properties of one-dimensional nanostructures and the possibility of fabricating contacts with sufficiently small sizes using litographic approach. Experimental part gives a brief overview of the tasks that need to be done during the contact fabrication. Subsequently, the individual steps are described in more detail and, finally, initial results of electrical characterization are shown.