Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Práce se zabývá interferometrií nízké koherence, zejména jejím využitím v kombinaci s laserovou interferometrií pro optickou analýzu profilu povrchů. Uvádí principy laserové interferometrie se zaměřením na přesné měření délek a také principy interferometrie nízké koherence. Detailně popisuje metody detekce středu interferenčního proužku v interferometrii nízké koherence a jejich implementaci do prostředí MATLAB. Na základě měření a numerické simulace srovnává přesnost popsaných metod při detekci profilu povrchů, odolnost vůči disperzi a výpočetní náročnost a vybírá nejvhodnější metodu pro použití při analýze profilu povrchů. Popisuje také návrh a realizaci experimentální sestavy pro optické měření profilu povrchů kombinující možnosti laserové interferometrie a interferometrie nízké koherence, měření provedená na této sestavě a zpracování naměřených dat. Pro naměřené hodnoty jsou stanoveny nejistoty a hodnoty jsou srovnány s referenčním měřením.
This thesis deals with low-coherence interferometry, laser interferometry and its combination intended to be used for contactless surface analysis. It outlines theoretical background of laser interferometry and low-coherence interferometry and describes in detail interference fringe center detection techniques used in low-coherence interferometry and their implementation into MATLAB environment. All these techniques theoretically described were analyzed to evaluate their measurement accuracy, resistance to optical dispersion and computational complexity in order to choose the most appropriate technique to be involved into the experiment. Furthermore, the thesis describes design of an experimental setup for optical surface analysis combining laser interferometry and low-coherence interferometry. There are presented experimental results and its comparison with the reference measurement. Overall measurement uncertainty is calculated and discussed too.
This thesis deals with low-coherence interferometry, laser interferometry and its combination intended to be used for contactless surface analysis. It outlines theoretical background of laser interferometry and low-coherence interferometry and describes in detail interference fringe center detection techniques used in low-coherence interferometry and their implementation into MATLAB environment. All these techniques theoretically described were analyzed to evaluate their measurement accuracy, resistance to optical dispersion and computational complexity in order to choose the most appropriate technique to be involved into the experiment. Furthermore, the thesis describes design of an experimental setup for optical surface analysis combining laser interferometry and low-coherence interferometry. There are presented experimental results and its comparison with the reference measurement. Overall measurement uncertainty is calculated and discussed too.
Description
Citation
PIKÁLEK, T. Analýza profilu povrchů pomocí interferometrie nízké koherence [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2014-06-26
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení