Studium selektivního růstu kovů na matrici připravené pomocí AFM nanolitografie

Abstract

Tato bakalářská práce je zaměřená na přípravu nanostruktur s využitím mikroskopu atomárních sil. Teoretická část pojednává o základních principech mikroskopu atomárních sil a o fyzikálním principu lokální anodické oxidace. Experimentální část je zaměřená na analýzu nanostruktur vytvořených lokální anodickou oxidací, na měření povrchového potenciálu na připravených nanostrukturách a na selektivní růst kovů na matrici připravenou lokální anodickou oxidací.This bachelor thesis is focused on fabrication of nanostructures with usage of atomic force microscope. The theoretical part refers to basic principles of atomic force microscope and to physical principle of local anodic oxidation. The experimental part is focused on analysis of nanostructures created by local anodic oxidation, measuring of surface potential on prepared nanostructures and on selective growth of metals on matrix prepared by local anodic oxidation.