Scintilační detektor sekundárních elektronů s řízeným prouděním plynů pro EREM

Abstract

Diplomová práce se zabývá návrhem a optimalizací konstrukce experimentálního scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop a popisem principu činnosti uvedeného detektoru. Experiment vychází ze simulací proudění plynu ve vnitřních částech detektoru a simulací drah sekundárních elektronů v elektrostatických polích detektoru. Na základě těchto simulací jsou provedeny návrhy nových konstrukčních řešení detektoru. Pro navržené konstrukce jsou opětovně realizovány simulace proudění plynu a drah elektronů. Z navržených konstrukcí detektoru jsou vybrány takové, které se jeví být vhodné pro detekci sekundárních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu.This master’s thesis deals with a design and optimization of an experimental scintillation secondary electron detector for the environmental scanning electron microscope and with a description of a detector operation principle. The experiment is founded on simulations of a gas flow in detector inner sections and on simulations of secondary electron trajectories in electrostatic fields of the detector. On the basis of the simulations, new solutions of the detector designs are proposed. For these designs, same simulations as previous are performed and designs that seem to be feasible for the secondary electron detection in environmental scanning electron microscope are selected.