Depozice a analýza AlCrN povlaků
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Bakalářská práce je zaměřena na problematiku depozice a metody studia kvality povrchových povlaků na bázi AlCrN, připravovaných metodami (i) magnetronového naprašování (Magnetron sputtering), (ii) magnetronového naprašování kombinovaného s obloukovým výbojem zesíleným doutnavým výbojem (Magnetron sputtering with arc enhanced glow discharge) a (iii) vysokovýkonného magnetronového naprašování s pohyblivým magnetickým polem (High power magnetron sputtering with movable magnetic field). Pozornost je věnována zejména charakterizaci vlastností připravených povlaků v závislosti na použité metodě (s různým stupněm ionizace). Pro posouzení kvality povrchových povlaků jsou využity testy adhezních a kohezních parametrů, hodnocení drsnosti pomocí AFM (Atomic force Microscopy), měření tloušťky povlaku pomocí kalotestu, měření vnitřního napětí metodou Bent-strip a instrumentovaná zkouška stanovení tvrdosti.
The topic of this thesis is the deposition process and methods of quality assessment of AlCrN surface coatings produced by methods of (i) magnetron sputtering, (ii) magnetron sputtering with arc enhanced glow discharge, and (iii) high power magnetron sputtering with the movable magnetic field. The main focus is placed on categorizing properties of the produced coatings based on the production method (which vary in the ionization level). Qualities of the surface coatings are assessed by adhesion and cohesion parameters testing of coarseness using AFM (Atomic Force Microscopy), depth measuring using a calotest, measuring internal tension using the Bent Strip Method and Instrumented indentation test for hardness.
The topic of this thesis is the deposition process and methods of quality assessment of AlCrN surface coatings produced by methods of (i) magnetron sputtering, (ii) magnetron sputtering with arc enhanced glow discharge, and (iii) high power magnetron sputtering with the movable magnetic field. The main focus is placed on categorizing properties of the produced coatings based on the production method (which vary in the ionization level). Qualities of the surface coatings are assessed by adhesion and cohesion parameters testing of coarseness using AFM (Atomic Force Microscopy), depth measuring using a calotest, measuring internal tension using the Bent Strip Method and Instrumented indentation test for hardness.
Description
Citation
DRÁSALOVÁ, K. Depozice a analýza AlCrN povlaků [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2021.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Materiálové inženýrství
Comittee
doc. Ing. Libor Pantělejev, Ph.D. (předseda)
doc. Ing. Bohumil Pacal, CSc. (místopředseda)
Ing. Lenka Klakurková, Ph.D. (člen)
Ing. Martin Juliš, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Klára Částková, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2021-06-10
Defence
1) Vlastní obhajoba závěrečné práce
2) Posudek vedoucího bakalářské práce
3) Posudek oponenta bakalářské práce
4) Odpovědi na dotazy oponenta
5) Jak se přepočítá průhyb na GPa? Odpověděla ke spokojenosti tazatele.
6) Čím je omezena velikost nanášené vrstvy na substrát? Odpověděla ke spokojenosti tazatele.
7) Čím byla způsobena kondenzace ve Vašem případě? Odpověděla ke spokojenosti tazatele.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení