Vývoj metody současného měření katodoluminiscence a topografie nanostruktur

Abstract

Bakalářská práce se zaměřuje na kombinované použití techniky SPM a SEM za použití optického vlákna sloužícího ke sběru katodoluminiscenčního záření. Práce obsahuje část shrnující použité techniky s detailnějším popisem jevu katodoluminiscence a další části popisuje vývoj metody, včetně návrhu a konstrukce sondy, úprav ladičky a optického vlákna. Výsledky ukazují, že nově vyvinutá metoda je schopná poskytovat přesné a spolehlivé výsledky, čímž na Ústavu fyzikálního inženýrství přispívá k rozšíření možností charakterizace nanostruktur.The bachelor thesis focuses on the combined use of SPM and SEM techniques using an optical fiber used to collect cathodoluminescence radiation. The thesis contains of a section summarising the used techniques with more detailed description of the cathodoluminescence phenomenon. Following sections describe the development of the method, including the design and construction of the probe, tuning fork and optical fibre modifications. The results show that the newly developed method is capable of providing accurate and reliable results, thus contributing to the expanded capabilities of nanostructure characterization at the Institute of Physical Engineering.