Přístroje a metodika testování čistých prostor

Abstract

V úvodu práce jsou popsány základní informace o čistých prostorách, které ovlivňují způsoby měření a vyhodnocování těchto prostor. Dále je v práci podán přehled přístrojů, které se používají, při testování či kontrole zmíněných prostor. Jedná se především o zařízení pro měření koncentrace částic ve vzduchu, které v současné době vyrábí několik firem. Jako hlavní výrobce zmíněných přístrojů je uvedena firma Lighthouse Worldwide Solutions, od které jsou popsány jejich tři základní typy. V další kapitole je uveden přehled dalších společností zabývajících se touto technologií a popsány jejich výrobky. Jednotlivé přístroje jsou na závěr porovnány s ohledem na různé požadavky, které jsou na ně kladeny.In the introduction of the thesis there is described main information about clean rooms that influences the way of measurement and evaluation of these rooms. Then there is a summary of instruments that are used with testing and controlling mentioned rooms. It is primarily a case of device for measurement of concentration of particles in the air that are produced by several firms nowadays. Lighthouse Worldwide Solutions is mentioned as the main producer of these devices. Its three basic types are described in the work. In the next chapter there is the list of other firms occupying this technology and their products. Finally, particular instruments are compared with the regard of different requirements that are placed on them.