Charakteristiky polovodičového BSE detektoru elektronového mikroskopu
Loading...
Date
Authors
Plot, Vítězslav
ORCID
Advisor
Referee
Mark
D
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Práce se zabývá charakterizací polovodičového detektoru zpětně odražených elektronů. Teoretická část popisuje dva typy elektronových mikroskopů, interakci primárního svazku se vzorkem a jednotlivé druhy elektronů a záření vznikající při interakci. Dále jsou shrnuty nejpoužívanější typy detektorů elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Jsou popsány základní charakteristiky polovodičového detektoru zpětně odražených elektronů a metody jejich měření. Experimentální část se zabývá měřením charakteristik detektoru firmy Delong Instruments a jeho porovnáním s komerčně dostupnými detektory. Bylo provedeno měření voltampérové charakteristiky a proudu za temna, závislosti zisku na urychlovacím napětí a také časové odezvy detektoru.
The thesis deals with the characterization of a semiconductor detector of backscattered electrons. The theoretical part describes two types of electron microscopes, the interaction of the primary beam with the sample and individual types of electrons and radiation arising during the interaction. The most used types of electron detectors in scanning electron microscope are summarized. The basic characteristics of the semiconductor backscattered electron detector and their measurement methods are described. The experimental part deals with measuring the characteristics of the detector made by Delong Instruments and comparing it with commercially available detectors. Volt-ampere characteristic and dark current, the dependence of the gain on the accelerating voltage, as well as the time response of the detector were measured.
The thesis deals with the characterization of a semiconductor detector of backscattered electrons. The theoretical part describes two types of electron microscopes, the interaction of the primary beam with the sample and individual types of electrons and radiation arising during the interaction. The most used types of electron detectors in scanning electron microscope are summarized. The basic characteristics of the semiconductor backscattered electron detector and their measurement methods are described. The experimental part deals with measuring the characteristics of the detector made by Delong Instruments and comparing it with commercially available detectors. Volt-ampere characteristic and dark current, the dependence of the gain on the accelerating voltage, as well as the time response of the detector were measured.
Description
Keywords
Elektronový mikroskop, zpětně odražené elektrony, polovodičový detektor, charakterizace detektoru, voltampérová charakteristika, zisk detektoru, časová odezva, Electron microscope, backscattered electrons, semiconductor detector, detector characterization, volt-ampere characteristic, detector gain, time response
Citation
PLOT, V. Charakteristiky polovodičového BSE detektoru elektronového mikroskopu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2023.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
bez specializace
Comittee
prof. Ing. Radimír Vrba, CSc. (předseda)
doc. Ing. Lukáš Fujcik, Ph.D. (místopředseda)
prof. Ing. Jan Leuchter, Ph.D. (člen)
Ing. Břetislav Mikel, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2023-06-06
Defence
Student během obhajoby představil koncept polovodičového BSE detektoru. Cílem bylo změřit charakteristiky, to provést i na dalších dostupných detektorech. Jako první byla uvedena V-A charakteristika, dále pak zisk detektoru, časová odezva. Dále student zodpověděl dotazy oponenta a komise během obhajoby: 1)jaký byl hlavní přínos práce? 2)bylo měřeno s přesností ns? byla spočítána nejistota měření?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení