Charakterizace nového depozičního systému pro povlakování vláken

Abstract

Cieľom bakalárskej práce je charakterizácia depozičného systému na výrobu tenkých vrstiev. Teoretická časť je zameraná na literárnu rešerš o plazme, plazmovej polymerácií, tenkých vrstvách a ich analýzu pomocou infračervenej spektroskopie a spektroskopickej elipsometrie. Experimentálna časť popisuje použité materiály a aparaturu použitú na prípravu tenkých vrstiev pomocou plazmovej polymerácie. Posledná časť popisuje výsledky merania depozícií tenkých vrstiev a ich vyhodnotenie vzhľadom na depozičné podmienky.The aim of the bachelor thesis is characterisation of a deposition system for coating thin films. The theoretical part focuses on literature recherché on plasma and plasma polymerization, thin films and its analysis using IR spectroscopy and spectroscopic ellipsometry. Experimental part deals with materials and equipment used for preparation of thin films using plasma polymerisation. The final part of the thesis describes the measurement results of the thin films deposition and their evaluation with respect to the deposition conditions.