Charakterizace elektrických vlastností grafenu na MEMS strukturách
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato práce popisuje základní vlastnosti grafenu, možnosti jeho syntézy a charakterizace pomocí Ramanovy spektroskopie, dvoubodového a čtyřbodového měření a van der Pauwovy metody. V praktické části je popsán postup vytvoření vzorků s grafen oxidem, redukovaným grafen oxidem a grafenem. Je provedeno měření volt-ampérových charakteristik pomocí dvoubodové metody. Následně je popsáno žíhání vzorku ve vakuové peci, které je důležité pro získání kvalitního elektrického kontaktu mezi 2D materiálem a elektrodami. Dále je provedena analýza vzorků pomocí Ramanovy spektroskopie. Další část práce shrnuje popis návrhu vlastní MEMS struktury a její výrobu. Vyrobená struktura slouží pro charakterizaci grafenu a ostatních 2D materiálů.
This work presents basic properties of graphene, methods for its synthesis and methods for its characterization by Raman spectroscopy, two-point probe, four-point probe and van der Pauw measurements. The experimental part of this work describes the process of graphene oxide, reduced graphene oxide and graphene sample preparation and measurement of its current-voltage characteristic by two-point probe method. Subsequently, sample annealing in vacuum furnace is described in this work. The annealing is important for acquiring good electrical contact between the 2D material and electrodes. Sample analysis by Raman spectroscopy is performed. The last chapters of this work describe design and fabrication of MEMS structure. Such structure serves for characterization of graphene and other 2D materials.
This work presents basic properties of graphene, methods for its synthesis and methods for its characterization by Raman spectroscopy, two-point probe, four-point probe and van der Pauw measurements. The experimental part of this work describes the process of graphene oxide, reduced graphene oxide and graphene sample preparation and measurement of its current-voltage characteristic by two-point probe method. Subsequently, sample annealing in vacuum furnace is described in this work. The annealing is important for acquiring good electrical contact between the 2D material and electrodes. Sample analysis by Raman spectroscopy is performed. The last chapters of this work describe design and fabrication of MEMS structure. Such structure serves for characterization of graphene and other 2D materials.
Description
Citation
BRODSKÝ, J. Charakterizace elektrických vlastností grafenu na MEMS strukturách [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2019.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Miroslav Husák, CSc. (předseda)
doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Jitka Brüstlová, CSc. (člen)
Ing. Vladimír Levek, Ph.D. (člen)
Ing. Miroslav Zemánek, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2019-06-11
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Dále odpověděl na otázky komise:
Čeho možno dosáhnout ohybem grafenu? Selektivity u senzorů plynů.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení