Analýza proudění plynu v experimentální komoře diferenciálního čerpání
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Práce se zabývá vlivem kritického proudění, který vzniká při čerpání diferenciálně čerpané komory environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu (EREM). Semestrální práce porovnává stav proudění v oblasti čerpané komory s kritickým tlakovým poměrem na clonkách a jeho výhody v konstrukci komor oproti průtoku bez stavu, kdy dojde k ucpání trysky. Problémy byly řešeny metodou konečných objemů v systému Ansys Fluent.
The thesis deals with the effect of the critical flow, which is produced at pumping of the differential pumping chamber of the Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM). The thesis compares the state of the flow in the area of pumped chamber at pressure ratio on the apertures when the critical flow occurs and its advantages in design of the chambers versus the flow without the clogging the nozzle. Problematics were solved using finite volume method by Ansys Fluent system.
The thesis deals with the effect of the critical flow, which is produced at pumping of the differential pumping chamber of the Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM). The thesis compares the state of the flow in the area of pumped chamber at pressure ratio on the apertures when the critical flow occurs and its advantages in design of the chambers versus the flow without the clogging the nozzle. Problematics were solved using finite volume method by Ansys Fluent system.
Description
Citation
ŠABACKÁ, P. Analýza proudění plynu v experimentální komoře diferenciálního čerpání [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2018.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (předseda)
doc. Ing. Jiří Maxa, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Roman Prokop, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Libich, Ph.D. (člen)
Ing. Zdenka Rozsívalová (člen)
Date of acceptance
2018-06-12
Defence
Studentka seznámila státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděla otázky a připomínky oponenta.
Neovlivňuje průměr termočlánku měření proudění v komoře?
V jakých jednotkách jsou uvedeny rozměry termočlánků udávané výrobcem?
Jaká je časová náročnost pro jednotlivé simulace prodění?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení