Analýza proudění plynu v experimentální komoře diferenciálního čerpání

Abstract

Práce se zabývá vlivem kritického proudění, který vzniká při čerpání diferenciálně čerpané komory environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu (EREM). Semestrální práce porovnává stav proudění v oblasti čerpané komory s kritickým tlakovým poměrem na clonkách a jeho výhody v konstrukci komor oproti průtoku bez stavu, kdy dojde k ucpání trysky. Problémy byly řešeny metodou konečných objemů v systému Ansys Fluent.The thesis deals with the effect of the critical flow, which is produced at pumping of the differential pumping chamber of the Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM). The thesis compares the state of the flow in the area of pumped chamber at pressure ratio on the apertures when the critical flow occurs and its advantages in design of the chambers versus the flow without the clogging the nozzle. Problematics were solved using finite volume method by Ansys Fluent system.