Příprava aktivních nanosoučástek
Loading...
Date
2024-05-03
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
VUT v Brně
Abstract
Tento kurz, vás seznámí se základními principy práce v laboratořích čistých prostor a dále představí přístroje a procesy používané v nanofabrikaci pro přípravu výroby elektronických součástek na čipu.
Description
Citation
Document type
Document version
Published version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Comittee
Date of acceptance
Defence
Result of defence
Document licence
Creative Commons Attribution-ShareAlike 4.0 International
http://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/
http://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/