Vývoj UHV STM/AFM

Abstract

Práce pojednává o piezoelektrickém motoru, který jako součást AFM (Atomic Force Microscopy) provádí zaměřování laserového svazku. Je v ní zaznamenáno měření pro určení vhodných tvarů a frekvencí napájecích pulzů, které slouží k vytváření slip-stick pohybu pomocí piezokeramických segmentů, jenž jsou jeho akčním členem. V textu jsou dále naznačeny možnosti řešení problémů spočívajících v jeho umístění do UHV (Ultra High Vacuum) a to jak na základě měření, tak i zpracované simulace.The main focus of the thesis is on the actuator, which is used for nanopositioning of laser beam in-site AFM (Atomic Force Microscopy). The appropriate shape of supply pulse and frequencies were searched and optimized. They make slip-stick motion of the piezo actuator. Possibilities of solving troubles with UHV (Ultra High Vacuum) are described on the basis of experiment and simulation.