Vliv pracovních podmínek v ESEM na výsledky EDS
Loading...
Date
Authors
Pospíchal, David
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Bakalářská práce se zabývá energiově disperzní spektroskopií a detekcí charakteristického rentgenového záření v oblasti environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. Cílem semestrální práce je porovnat výsledky prvkové mikroanalýzy vzorku při optimálních podmínkách a sledovat změny výsledků při změně pracovních podmínek, resp. tlaku dusíku a vodních par v komoře vzorku rastrovacího elektronového mikroskopu Vega3 XMU s LaB6 katodou firmy TESCAN, a.s osazeného spektroskopem Xflash 6|10 firmy Bruker.
The bachelor thesis deals with energy dispersion spectroscopy and detection of characteristic X-rays in the field of environmental scanning electron microscope. The aim of the semester work is to compare the results of elemental microanalysis of samples under optimal conditions and to monitor changes of results, when changing working conditions, resp. nitrogen and water vapor pressure in the sample chamber of the scanning electron microscope Vega3 XMU with LaB6 cathode. TESCAN, a.s equipped with Xflash 6 | 10 spectrophotometer. Bruker
The bachelor thesis deals with energy dispersion spectroscopy and detection of characteristic X-rays in the field of environmental scanning electron microscope. The aim of the semester work is to compare the results of elemental microanalysis of samples under optimal conditions and to monitor changes of results, when changing working conditions, resp. nitrogen and water vapor pressure in the sample chamber of the scanning electron microscope Vega3 XMU with LaB6 cathode. TESCAN, a.s equipped with Xflash 6 | 10 spectrophotometer. Bruker
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop , environmentální rastrovací elektronový mikroskop , křemíkový driftový detektor , prvková mikroanalýza , charakteristické rentgenové záření , spojité rentgenové záření , Scanning electron microscope , environmental scanning electron microscope , silicon drift detector , elemental microanalysis , characteristic X-rays , continuous X-rays
Citation
POSPÍCHAL, D. Vliv pracovních podmínek v ESEM na výsledky EDS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2019.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
Ing. Martin Adámek, Ph.D. (místopředseda)
doc. Ing. Tomáš Kazda, Ph.D. (člen)
Ing. Ladislav Chladil, Ph.D. (člen)
Ing. Kristýna Jandová, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2019-06-11
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena