Aplikace grafénu modifikovaného metodou FIB v oblasti senzorů relativní vlhkosti

Abstract

Táto bakalárska práca sa zaoberá možným využitím grafénu v oblasti senzorov relatívnej vlhkosti. Pôsobenie vodnej pary na elektrické vlastnosti grafénu je charakterizované ako zmena odporu grafénovej vrstvy. Ďalej je skúmaný vplyv narušenia povrchu grafénu pomocou fokusovaného iónového zväzku. V závere prace je popísaný experiment zaoberajúci sa vplyvom zmenšenia plochy grafénového senzoru na jeho citlivosť voči molekulám vody.This thesis is focused on potential use of graphene in relative humidity sensing. The effect of water vapor on electrical properties of graphene is described as a change in graphene layer resistivity. The impact of surface distortion created by focused ion beam is also studied. The experiment dealing with the influence of graphene sensor area on its water molecules sensing capability is described in the last part.