Analýzy čerpání v experimentální komoře pro elektronový mikroskop pomocí systému ANSYS
Loading...
Date
Authors
Dostalová, Petra
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Bakalářská práce se zabývá problematikou čerpání v diferenciálně čerpané komoře environmentálního elektronového mikroskopu. V teoretické části je popsána mikroskopie obecně. Poté se práce zabývá konkrétně environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií s problematikou jejího vakuového systému, výpočetními programy a studií, ze které práce vychází. V praktické části jsou provedeny a vyhodnoceny simulace čerpání v experimentální komoře pomocí systému Ansys Fluent.
The thesis is focused on issue of pumping in the differential pumped chambre of an environmental scanning microcope. In the theoretical part, there are presented microscopy as science. Afterwards the thesis is focused on environmental scanning electron microscopy and its problem and vakuum system, computer program used for preparation of simulation and study that the experimental part is based on. The experimental part contains the results of gas flow in the differential pumped chambre. The problematics were solved by Ansys Fluent system.
The thesis is focused on issue of pumping in the differential pumped chambre of an environmental scanning microcope. In the theoretical part, there are presented microscopy as science. Afterwards the thesis is focused on environmental scanning electron microscopy and its problem and vakuum system, computer program used for preparation of simulation and study that the experimental part is based on. The experimental part contains the results of gas flow in the differential pumped chambre. The problematics were solved by Ansys Fluent system.
Description
Citation
DOSTALOVÁ, P. Analýzy čerpání v experimentální komoře pro elektronový mikroskop pomocí systému ANSYS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2019.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (předseda)
doc. Ing. Vítězslav Novák, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Roman Prokop, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Starý, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (člen)
Date of acceptance
2019-06-11
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky k obhajobě:
1. Proč se jmenuje výpočet "quick", když je nejpomalejší?
2. Rázové vlny mají vliv na zaostření svazku?
3. Jaký termočlánek byste použila, máte představu?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena