Víceelektrodový systém ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop

Abstract

Diplomová práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie a detekce signálních elektronů s použitím ionizačního detektoru. První část práce hovoří o principu a uspořádání environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. Druhá část práce popisuje druhy rozptylu a jednotlivé signály, které vznikají při interakci primárního elektronového svazku se vzorkem. Třetí část práce vysvětluje problematiku nárazové ionizace a ionizačního detektoru. Experimentální část práce se zabývá použitím segmentového ionizačního detektoru a stanovením zesílení výsledného signálu z mědi a platiny v závislosti na zapojení elektrod detektoru. Dále práce zkoumá vliv uspořádání elektrod ionizačního detektoru na materiálový kontrast a na změny napěťového kontrastu na přechodu báze emitor bipolárního tranzistoru typu NPN. Všechny experimenty byly prováděny v závislosti na tlaku nasycených par v komoře vzorku.Thesis deals with environmental scanning electron microscopy and with detection of signal electrons by using ionization detector. First part talks about the principle of environmental scanning electron microscope. Second part describes signals generated by interaction of primary electron beam with sample. Third section explains the principle of impact ionization and ionization detector. Experimental part deals with usage of segmental ionization detector and with measuring of signal amplification from copper and platinum. Thesis also examines arrangement of electrodes of ionisation detector on material contrast and examines also on influence of voltage contrast on base - emitter junction of an NPN bipolar transistor. All experiments were carried out in dependency on saturated water vapour pressure in sample chamber.