Vliv tlaku v komoře vzorku na podmínky diferenciálního čerpání

Abstract

V práci je nejdříve uvedena a popsána stručně problematika elektronové mikroskopie. Následně jsou v systému SolidWorks vymodelovány tři tvary komory diferenciálního čerpání, u kterých je pomocí systému SolidWorks Flow Simulation provedena analýza čerpání plynu při různých tlacích v komoře vzorku EREM. Výsledky analýzy jsou podrobeny zhodnocení vzhledem k požadavku, aby v dráze svazku primárních elektronů byl co nejnižší tlak z důvodu snížení pravděpodobnosti rozptylu svazku.The paper primarily outlines fundamental issues of electron microscopy. The paper follows with analysing pumping of gas into EREM sample chambers at various pressure levels by using SolidWorks Flow Simulation in SolidWorks system. The results of analyses are assessed with respect to requirements so that the pressure in the track of primarily electrons is as low as possible with the view to reduce probability of its scattering.