Funkční organicko-anorganické nanostruktury

Abstract

Diplomová práce se zabývá přípravou vrstevnatých organicko-anorganických nanostruktur pomocí technologie PECVD a analýzou optických vlastností těchto vrstev pomocí spektroskopické elipsometrie. Teoretická část práce se zabývá popisem tenkých vrstev, vrstevnatých a gradientních multivrstev, plazmochemickou depozicí z plynné fáze a principy spektroskopické elipsometrie. V experimentální části jsou popsány použité materiály a chemikálie, dále je kompletně popsána aparatura použitá k přípravě vzorků vrstev a postup přípravy vzorků. Výsledková část práce sestává z metodiky přípravy materiálových modelů nezbytných pro elipsometrická měření a vyhodnocení optických vlastností deponovaných nanovrstev.Diploma thesis deals with preparation of multilayered organic-inorganic nanostructures via PECVD technology and analysis of optical properties of these layers by spectroscopic ellipsometry. The theoretical part handles the definition of thin layers, layered and gradient nanostructures, plasma enhanced chemical vapor deposition and principles of spectroscopic ellipsometry. In the experimental part, used materials and chemicals are described, afterwards follow a complete description of the apparatus used for sample preparation and a description of the sample preparation procedure. The results part consists of methodology of preparing material models necessary for ellipsometric measurements and evaluation of optical properties of deposited nanolayers.