Analýza vlivu proudění plynu v oblasti umístění vzorku v komoře enviromentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Loading...
Date
Authors
Bednář, Eduard
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Tato práce se zabývá simulací dynamiky tekutin v enviromentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu, vyhodnocení nastavení řešiče, stupně diskretizace, volby turbulentního modelu a návrhem optimální koncepce enviromentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. V teoretické části práce je popsána problematika enviromentální rastrovací elektronové mikroskopie, softwarové nástroje SolidWorks a ANSYS Fluent, základní rovnice popisující stav tekutin, turbulence tekutin, střední volná dráha molekul a rozptyl elektronů. Cílem praktické části práce je vytvoření modelu enviromentálního rastrovacího elektronového mikroskopu AQUASEM II v CAD systému SolidWorks a simulace proudění tekutiny v komoře vzorku před clonou PLA1 prostřednictvím softwaru ANSYS Fluent. Sérií simulací je stanoveno nejvhodnější nastavení řešiče. Tyto poznatky jsou využity ve druhé fázi praktické části, kde je navrhován optimální tvar stolu vzorku a vstupu clony PLA1.
This thesis deals with the simulation of fluid dynamics in environmental scanning electron microscope and evaluate solvers setup, the degree of discretization, choice of turbulent model and proposal optimal design of environmental scanning electron microscope. The theoretical part describes the issue of environmental scanning electron microscopy, software SolidWorks and ANSYS Fluent, basic equations describing fluid status, fluid turbulence, the mean free path of molecules and electron scattering. The practical part of the thesis is to create the model of environmental scanning electron microscope AQUASEM II in CAD system SolidWorks and simulation of fluid flow in the sample chamber before aperture PLA1 by ANSYS Fluent. A series of simulations provided the perfect setting solver. These knowledge are used in the second stage of the practical part, where is proposed optimal shape of the table sample and the input aperture PLA1.
This thesis deals with the simulation of fluid dynamics in environmental scanning electron microscope and evaluate solvers setup, the degree of discretization, choice of turbulent model and proposal optimal design of environmental scanning electron microscope. The theoretical part describes the issue of environmental scanning electron microscopy, software SolidWorks and ANSYS Fluent, basic equations describing fluid status, fluid turbulence, the mean free path of molecules and electron scattering. The practical part of the thesis is to create the model of environmental scanning electron microscope AQUASEM II in CAD system SolidWorks and simulation of fluid flow in the sample chamber before aperture PLA1 by ANSYS Fluent. A series of simulations provided the perfect setting solver. These knowledge are used in the second stage of the practical part, where is proposed optimal shape of the table sample and the input aperture PLA1.
Description
Citation
BEDNÁŘ, E. Analýza vlivu proudění plynu v oblasti umístění vzorku v komoře enviromentálního rastrovacího elektronového mikroskopu [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a materiálové inženýrství
Comittee
doc. Ing. Josef Jirák, CSc. (předseda)
Ing. Martin Frk, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Jiří Ovsík (člen)
doc. Ing. Vítězslav Novák, Ph.D. (člen)
Ing. Miroslav Zatloukal (člen)
Date of acceptance
2016-06-08
Defence
V práci používáte výpočty 2D. Jaké je srovnání v oblasti náročnosti pro 3D?
Co znamená D v rovnici kontinuity? Co tato rovnice vyjadřuje?
Co znamená nabla? Je to vektor, nebo skalár?
Jak se projeví vliv vlhkosti na výpočet?
Student seznámil zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení