Experimentální ověření extrakce parazitních RC komponent (PEX extrakce) s využitím ring oscilátorů

Abstract

Hlavní náplní této práce je ověření extrakce parazitních RC komponent. V teoretické části jsou probrány teoretické pojmy z oblasti návrhu integrovaných obvodů, ring oscilátorů, parazitní extrakce a frekvenčního čítání. Praktická část se věnuje měření na vyrobených strukturách na křemíkové desce a simulaci, která navržené struktury simuluje v programu Cadence Virtuoso. Aby mohla být parazitní extrakce ověřena, je potřeba měřené frekvence a simulační frekvence porovnat, zjistit odchylky a poukázat na konfigurace s omezenou přesností. Součástí praktické části je také statistická analýza a návrh na zlepšení parazitní extrakce.The main focus of this work is verification of extraction of parasitic RC components. The theoretical part is concerned with theoretical terms from the area of design of integrated circuits, ring oscillators, parasitic extraction and frequency counting are clarified. The practical section is dedicated to measuring at manufactured structures on a silicon wafer and simulation, which simulates the designed structures in Cadence Virtuoso. For the parasitic extraction to be verified, it is necessary to compare the measured and simulation frequencies, to find out the deviations and to point out configurations with limited accuracy. Section of the practical part is dedicated to statistical analysis and suggestion on improving the parasitic extraction.