Užití CAD systémů pro návrh MEMS
Loading...
Date
Authors
Lazar, Jaroslav
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
ORCID
Abstract
Práce se zabývá CAD návrhovými nástroji pro MEMSy. První část je věnována popisu a definování pojmu MEMS a jeho základních částí. Další úsek se zabývá popisem jednotlivých metod pro výrobu MEMSů. Poslední část popisuje vybrané CAD návrhové nástroje, jejich moduly a funkce. V závěru jsou jednotlivé systémy srovnány, zhodnoceny a určena vhodnost jejich použití. Dále je zde uveden význam a výhody MEMSů.
This thesis deals with CAD design tools for MEMS. First part describes and defines MEMS and its basic components. This is followed by a description of methods used to manufacture MEMS. The last part deals with particular CAD design tools, their modules and functions. Mentioned systems are then compared, reviewed and appropriate usage for each of them is suggested. Then the importance and advantages of MEMS are disccussed.
This thesis deals with CAD design tools for MEMS. First part describes and defines MEMS and its basic components. This is followed by a description of methods used to manufacture MEMS. The last part deals with particular CAD design tools, their modules and functions. Mentioned systems are then compared, reviewed and appropriate usage for each of them is suggested. Then the importance and advantages of MEMS are disccussed.
Description
Citation
LAZAR, J. Užití CAD systémů pro návrh MEMS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Strojní inženýrství
Comittee
doc. Ing. Pavel Mazal, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Ing. Josef Nevrlý, CSc. (místopředseda)
doc. Ing. David Paloušek, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Martin Hartl, Ph.D. (člen)
Ing. Pavel Svoboda, CSc. (člen)
Date of acceptance
2009-06-16
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena