Analýza pokročilých materiálů a struktur metodou SIMS

Abstract

Bakalářská práce se zabývá studiem pokročilých materiálů metodou SIMS a možnostem kvantitativní analýzy pomocí dat získaných z měření. Byla provedena chemická analýza povrchu keramiky s cílem optimalizace podmínek měření. Zbytek práce využívá datový výstup z měření pro popsání vnitřní mikrostruktury materiálu. Pomocí sofistikovaných metod jsou lokalizovány a popsány Si precipitáty ve vrstvě AlSi a ověřena formace fáze MgAl2O4 ve vzorcích keramiky. Dosažení všech stanovených cílů odhaluje potenciál metody SIMS a především možnosti ve zpracování datového výstupu z měření.Bachelor theasis deals with the study of advanced materials by SIMS method and the possibilities of kvantitative analysis using maesured data. Chemical analysis of the ceramic surface in order to optimize the measurement conditions was performed. The rest of the work uses the data output from the measurement to describe the internal microstructure of the material. Using sophisticated methods, Si precipitates in the AlSi layer are localized and described, and the formation of the MgAl2O4 phase in ceramic samples is confirmed. Achieving all the set goals reveals the potential of the SIMS method and, above all, the possibility of processing the data output from the measurements.