Metoda napěťového kontrastu v ESEM

Abstract

Tato práce se zabývá problematikou napěťového kontrastu v ESEM. Cílem práce bylo experimentálně ověřit vliv použitých detektorů v závislosti na podmínkách v komoře vzorku na velikost napěťového kontrastu. Podmínkami v komoře vzorku rozumíme tlak a pracovní podmínky detekce signálu.. Jako vzorek byl použit výkonový tranzistor.This graduation thesis deals with the problem of voltage contrast in ESEM. The purpose of this work was to verify influence of used detectors in the dependence on conditions in specimen chamber on the size of voltage contrast. With the conditions in specimen chamber we understand pressure and working conditions of signal detection. We used power transistor as specimen.