Návrh komplexní modulární UHV aparatury pro tvorbu, modifikaci a pozorování nanostruktur in situ
Loading...
Date
Authors
Páleníček, Michal
Advisor
Referee
Mark
P
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
ORCID
Abstract
Předkládaná práce se zabývá vývojem komplexní modulární ultravakuové aparatury na bázi ultravakuového rastrovacího elektronového mikroskopu UHV SEM. Zaměřuje se především na konstrukční návrh zařízení, který je přizpůsoben požadavkům ultravakua, omezení mechanických vibrací a vědecko-výzkumným aplikacím. Komplexní UHV SEM aparatura je určena pro přípravu, pozorování a modifikaci nanostruktur in situ.
The thesis deals with the development of complex modular ultra-high vacuum system based on ultra-high vacuum scanning electron microscope UHV SEM. This discourse focuses primarily on engineering design of the system, which is underlying demands of ultra-high vacuum, limitation of mechanical vibrations and future R&D applications. The device is designed for preparing, observing and modifying of nanostructures in situ.
The thesis deals with the development of complex modular ultra-high vacuum system based on ultra-high vacuum scanning electron microscope UHV SEM. This discourse focuses primarily on engineering design of the system, which is underlying demands of ultra-high vacuum, limitation of mechanical vibrations and future R&D applications. The device is designed for preparing, observing and modifying of nanostructures in situ.
Description
Keywords
UHV , ultravakuum , SEM , rastrovací elektronový mikroskop , mikroskopie , AES , SAM , ultravakuový systém , UHV , Ultra-High Vacuum , SEM , scanning electron microscope , microscopy , AES , SAM , Ultra-High Vacuum system
Citation
PÁLENÍČEK, M. Návrh komplexní modulární UHV aparatury pro tvorbu, modifikaci a pozorování nanostruktur in situ [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2022.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální a materiálové inženýrství
Comittee
prof. RNDr. Karel Maca, Dr. (předseda)
Ing. Petr Kostelník, Ph.D. (člen)
Ing. Petr Tichopádek, Ph.D. (člen)
doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (člen)
Date of acceptance
2022-03-28
Defence
Práce disertanta byla v diskusi vysoce hodnocena, zvláště šíře a kvalita odvedené práce, která vedla ke vzniku ojedinělého high-tech zařízení vysoké přidané hodnoty. UMV SEM zařízení bude na VUT i nadále velmi intenzivně využíváno v každodenním i aplikovaném výzkumu vedoucími k dizertační činnosti.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena