Optimalizace tvorby tenkých vrstev kovových materiálů

Abstract

Předkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací tvorby tenkých vrstev kovových materiálů. V rámci teoretické části byl zpracován přehled realizace tvorby tenkovrstvé struktury, zejména pomocí vakuových technik. Chemické a fyzikální depozice. Byly popsány metody předúprav tenkých vrstev. Na závěr byly rozebrány metody kontroly předupraveného povrchu, kontroly kvality pokovení a vzájemné přilnavosti vrstev. V experimentální části byly zvoleny metody předúprav a aplikovány na vybrané substráty. Předúpravy byly vyhodnoceny pomocí kontroly povrc hu metodou smáčecích úhlů a metodou mikroskopie atomárních sil. Poté byla vytvořena kovová struktura mědi na předupravených substrátech. Realizace byla provedena pomocí magnetronového naprašování. Přilnavost vrstev byla kontrolována pomocí zkoušky povrchu mříţkovou metodou. Kvalita byla pozorovaná skenovací elektronovou mikroskopií. Výsledky byly pouţity pro návrh technologického postupu vytváření kovových vrstev.The present thesis deals with optimization of the formation of thin layers of metallic materials. In the theoretical part was elaborated overview of the implementation of the formation of thin- film structures, particularly using vacuum techniques. Chemical and physical vapor deposition. They were described methods of pretreatment of thin layers. The findings were discussed methods of controlling the pre-treated surface, quality control and mutual adhesion of coating layers. In the experimental part of the pre-treatment methods were selected and applied to selected substrates. Pretreatments were evaluated using a control surface by wetting angles and by atomic force microscopy. Then, the metal structure formed of copper on the pretreated substrates. Implementation by means of magnetron sputtering. Adhesion layers was checked by testing the surface lattice method. The quality was observed by scanning electron microscopy. The results were used to design the technological process of making metal layers.