Vodíkem modifikované grafenové struktury pro polem řízené tranzistory

Abstract

Tato diplomová práce se věnuje problematice grafenu modifikovaného atomárním vodíkem a jeho transportních vlastností. V rámci rešeršní části práce jsou porovnány strukturní a elektronické vlastnosti grafenu a hydrogenovaného grafenu. Je popsána metoda Ramanovy spektroskopie, včetně charakterizace spekter obou zkoumaných struktur. Použité vzorky jsou vyrobeny pomocí laserové a elektronové litografie a uzpůsobeny měření ve vakuové komoře. V rámci experimentální části práce jsou proměřeny transportní vlastnosti grafenu před a po modifikaci vodíkovými atomy. V závěru je hydrogenovaný grafen ozářen elektronovým svazkem a pomocí Ramanovy spektroskopie jsou sledovány změny v jeho struktuře.This master’s thesis is focused on the subject of graphene modified with atomic hydrogen and its electronic transport properties. Structural and electronic properties of graphene and hydrogenated graphene are compared in the theoretical part of the thesis. The Raman spectroscopy technique is described, including characterization of typical Raman spectra of both unmodified and modified graphene. Samples used during experimental part of the thesis are prepared via laser and electron lithography, and are set to be measured in a vacuum chamber. Subsequently, electronic transport properties are measured before and after hydrogen modification of graphene. Finally, hydrogenated graphene is irradiated using electron beam and changes in its structure are analyzed with Raman spectroscopy techniques.