Vývoj metody svařování elektrickým výbojem na kombinaci tenkovrstvých a tlustovrstvých struktur

Abstract

Táto bakalárska práca sa na začiatku zaoberá rôznymi metódami pripojenia vývodov na hrubé a tenké vrstvy. Jednou z metód, na ktorú je táto práca najviac zameraná je metóda pripojenia vývodov zváraním elektrickým výbojom. Cieľom praktickej časti bolo overiť, či sa táto metóda pripojenia vývodov dá uplatniť na kombinácii hrubovrstvových a tenkovrstvových aplikácii. Experiment zahrňoval vytvorenie šablóny na naparovanie, naparovanie tenkej vrstvy na substrát, následne jej galvanické zosilnenie a testovanie. Testovala sa mechanická pevnosť vytvorených zvarov v ťahu a na konci prebehla optická kontrola vnútorného rozhrania zvarov.At the start this bacherol thesis deals with connection methods of terminals on thick and thin-films. One of the methods, which this thesis is mostly orientated on, is a terminal connecting with the shock welding method. The point was to test, if this method of connecting terminals is suitable for a combination of the thick and thin-films applications. The experiment included making of template for vapour plating, vapour plating of thinfilm on substrate, its galvanic plating and testing. Mechanical tensile strength of created welds was tested and in the end there was done the optical inspection of internal interface of welds.