Expozice negativního fotorezistu s využitím prvků LED

Abstract

Cílem této práce je návrh a realizace expoziční jednotky pro negativní fotorezist s využitím LED diod vyzařujících v UV spektru. Ke správnému návrhu této jednotky je nezbytné porozumět fyzikálním zákonům zabývajících se světlem a vyzařováním. Hlavní část této práce se zabývá návrhem a konstrukcí LED maticového pole. Druhým krokem je testování tohoto pole. Další části jsou zaměřeny na návrh nebo volbu napájecího zdroje, vakuového rámu, časovače, řídící jednotky a dalších podpůrných systémů. Finální část je věnována popisu zařízení a návodu k obsluze.The purpose of this work is conception and realization of exposition unit for negative photoresist with ultra violet light emitting diodes application. For conception of this unit is necessary understanding of physical laws about light and radiation. The major part of this work is dealing with conception and construction of LED matrix array. Second step is testing of this array. Next parts are aimed to conception or choose of power source, vacuum frame, timer controller, control unit and other support systems. Final part is devoted to device description and service manual.