Definice parametru pro dekonvoluci obrazu z elektronového mikroskopu

Abstract

Tato diplomová práce se zabývá modelováním bodové rozptylové funkce (point spread function, PSF) u skenovacího transmisního elektronového mikroskopu (STEM). Nejprve je provedena teoretická rešerše, kde jsou popsány všechny důležitě aspekty, potřebné k následnému modelování. Je tedy proveden základní popis konstrukce přístroje a určeny jeho klíčové komponenty, které mají hlavní vliv na tvar výsledné PSF. Následně jsou popsány hlavní zobrazovací vady, které ovlivňují výslednou PSF. Ty jsou popsány z hlediska vlnové optiky. Na základě toho je pak navržen a zrealizován poměrně přesný model PSF u mikroskopu STEM. Poté je vytvořeno GUI, které umožňuje plné využití daného vytvořeného modelu. Na závěr je získaný model otestován na modelových a reálných datech, pomocí metody Lucy-Richardson.This master thesis deals with the point spread function (PSF) modelling of a Scanning Transmission Electron Microscope (STEM). First, the theoretical research is performed, describing all the important aspects, that are necessary for following modelling. Thus, the basic description of the construction of this device is performed. Than its key components are determined, which have a major influence on the shape of the resultant PSF. Subsequently, the main imaging aberrations that affect the resulting PSF are described. These are described in terms of wave optics. In this base, the relatively accurate PSF model of the STEM microscope is designed and realized. Then, the GUI is created which allows full use of the created model. Finally, the obtained model is tested on model and real data using the Lucy-Richardson method.